Prozessdetails: Silizium-Wafer-Herstellung

1.1 Beschreibung

Die Silizium-Wafer Herstellung. Energieverbrauch nach #1; Materialinput nach #2; Dicke mit 300mm Wafer nach #3 und #4
Eine Allokation wird allerdings nicht durchgeführt. Das heißt, alle Produktionsaufwand und Emissionen 100% zu Hauptprodukt Silizium-Wafer zuzuschreiben.

1.2 Referenzen

  1. Williams et al. 2002: Willliams, E.D.; Ayres, R.U.; Heller, M.; The 1.7 Kilogram Microchip: Energy and Material Use in the Production of Semiconductor Devices, Environmental Science and Technology, 2002. 36(24): p. 5504 -5510.
  2. SchischkeKohlmeyer 2003: Karsten Schischke Rolf Kohlmeyer, ReUse Projekt, „Regionale Netze für die Wieder- und Weiterverwendung elektronischer Geräte“, Arbeitspaket 6.7 Umweltbewertung des ReUse von PCs, 2003
  3. ITRS 2005: ITRS 2005 Advantages and Challenges Associated with the Introduction of 450mm Wafers: A position paper report submitted by the ITRS Starting Materials Sub-TWG, June 2005
  4. WatanabeKramer 2006: Masaharu WatanabeScott Kramer, 450 mm Silicon: An Opportunity and Wafer Scaling, the Electrochemical Society Interface • Winter 2006, http://www.electrochem.org/dl/interface/wtr/wtr06/wtr06_p28-31.pdf

1.3 ProBas-Anmerkungen

Es liegen hierzu keine Angaben vor.

1.4 Weitere Metadaten

Quelle Öko-Institut/Fraunhofer IZM
Projekte -
Bearbeitet durch -
Datensatzprüfung ja
Ortsbezug keine Angabe
Zeitbezug 2000

1.5 Technische Kennwerte

Funktionelle Einheit 1 cm² Silizium-Wafer
Dicke 775 µm
Durchmesser 300 mm
Gewicht 0,128 kg pro Stück Silizium-Wafer

Funktionelle Einheit ist »1 cm² Silizium-Wafer«.

Inputs - Aufwendungen für den Prozess

Input Aus Vorprozess Menge Einheit
Chlorwasserstoff HCl (Salzsaeure) Lieferant nicht in Datenbank 0,00675 kg
Graphit (als Elektrodenmaterial) Lieferant nicht in Datenbank 0,000163 kg
Holzschnitzel Lieferant nicht in Datenbank 0,00183 kg
Petrolkoks Lieferant nicht in Datenbank 0,000597 kg
Quarz Lieferant nicht in Datenbank 0,00487 kg
Strom Lieferant nicht in Datenbank 0,385 kWh
Trockenes Holz Lieferant nicht in Datenbank 0,00398 kg

Outputs

Output Menge Einheit
Koppel-Produkte: Si in anderen Koppelprodukten 0,000286 kg
Koppel-Produkte: Siliziumtetrachlorid 0,00415 kg
Koppel-Produkte: Si-Reste für Solarzellen 65,2*10-6 kg
polierter Silizium-Wafer 1 cm2
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Funktionelle Einheit ist »1 cm² Silizium-Wafer«.

Luftemissionen

Luftemission direkt Einheit
CH4 68,8*10-6 kg
CO 0,000167 kg
CO2 0,00833 kg
Ethan 29*10-6 kg
H2O 0,00188 kg
Methanol 85,1*10-6 kg
NOx 13,8*10-6 kg
Partikel 0,000201 kg
SO2 34,4*10-6 kg
Wasserstoff 0,000125 kg

Gewässereinleitungen

Gewässereinleitung direkt inkl. Vorkette Einheit
Metallchloride 0,000787 k.A. kg

Abfälle

Abfall Menge Einheit
SiO2 16,3*10-6 kg
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